超聲波掃描顯微鏡對(duì)被測(cè)器件是有一定限制的，因?yàn)樗墓ぷ黝l率一般在5MHz~400MHz之間，安賽斯（中國(guó)）有限公司引進(jìn)德國(guó)的超聲波掃描顯微鏡，其工作頻率可達(dá)550M。所以它在不同材料中，穿透深度是不同。一般有這樣的規(guī)律：頻率越高的超聲波，穿透性越差，但是分辨率高；頻率低的超聲波，穿透性好，但是分辨率有限！

穿透深度（與材料本身有關(guān)*）: 穿透深度取決于被測(cè)物的彈性參數(shù)、信噪比及超聲掃描顯微鏡系統(tǒng)的工作頻率。被測(cè)物與耦合介質(zhì)之間較大的聲失配會(huì)降低穿透深度，但另一方面，高信噪比可以提 高穿透深度。在高聲阻抗的固體中超聲波的穿透深度與超聲波的頻率成反比。對(duì)于低聲阻抗的固體，橫波和縱波均可以用于內(nèi)部成像，因此在這種情況下穿透深度不 受頻率的限制。
分辨率：取決于樣品和換能器的狀況，一般情況下可達(dá)到半波長(zhǎng)（λ/2）。