6英寸可編程勻膠機(jī)/旋涂儀

產(chǎn)品介紹：

名稱：可編程勻膠機(jī)

型號：HC160SE

應(yīng)用： HC160SE可編程勻膠機(jī)，設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm（6英寸）或?qū)?yīng)的方片，使用工業(yè)級直流馬達(dá)和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡單易用。

產(chǎn)品概述：

勻膠機(jī)（旋涂儀）制膜的原理：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)?？捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高質(zhì)量薄膜涂層的制備。

HC160SE可編程勻膠機(jī)，被設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為?5mm~160mm或?qū)?yīng)的方片，使用工業(yè)級直流馬達(dá)和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡單易用。該型號勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。

　　HC160SE勻膠機(jī)設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l                      設(shè)計緊湊，可輕松放置在手套箱內(nèi)使用；

l                      HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔，耐腐蝕； 

l                      4.3英寸彩色觸屏控制，易學(xué)易用；可精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù)，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時顯示；

l                      采用高級PLC程序控制，旋涂速度、旋涂時間、加速度等工藝參數(shù)可編程，實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂；

l                      具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；管路易疏通結(jié)構(gòu)設(shè)計；

l                      轉(zhuǎn)速、加速度、時間、真空泵關(guān)/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作。

l                      可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；

l                      帶真空檢測安全互鎖，當(dāng)真空度不足時，設(shè)備停止運(yùn)行，防止飛片；且此功能可在設(shè)置中關(guān)閉；

l                      帶蓋子檢測安全互鎖，當(dāng)沒有關(guān)好蓋子時，設(shè)備停止運(yùn)行，確保操作安全；且此功能可在設(shè)置中關(guān)閉；

l                      帶排廢接口；

l                      帶自動點(diǎn)膠接口，可升級自動點(diǎn)膠系統(tǒng)；

技術(shù)參數(shù)：

l                      適用晶元尺寸范圍：? 5~160mm；

l                      旋涂速度：100~12000rpm；轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

l                      旋涂加速度：100-30000rpm/s；

l                      最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

l                      內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔采用獨(dú)特的凹面防濺設(shè)計；

l                      具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

l                      電源輸入：AC200-230V

產(chǎn)品附圖：

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